有投资者向晶瑞电材提问晶瑞电材是否拥有KrF光刻机

2021-12-13 02:22 来自:IT之家 收藏 分享 邀请  阅读量:19553   

摘要: 12月8日,有投资者向晶瑞电材提问,晶瑞电材是否拥有KrF光刻机是否具备批量生产KrF光刻胶的条件 晶瑞电材表示,公司近期已购得KrF光刻机一台,可用于KrF光刻胶的曝光测试,同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积...

12 月 8 日,有投资者向晶瑞电材提问,晶瑞电材是否拥有 KrF 光刻机 是否具备批量生产 KrF 光刻胶的条件

有投资者向晶瑞电材提问晶瑞电材是否拥有KrF光刻机

晶瑞电材表示,公司近期已购得 KrF 光刻机一台,可用于 KrF 光刻胶的曝光测试,同时公司 KrF 光刻胶量产化生产线正在积极建设中。

关于公司的主导产品,晶瑞电材表示,公司的主导产品包括光刻胶及配套材料,超净高纯试剂,锂电池材料和基础化工材料等,广泛应用于半导体,新能源,基础化工等行业,主要应用到下游电子产品生产过程的清洗,光刻,显影,蚀刻,去膜,浆料制备等工艺环节公司专业从事微电子化学品的产品研发,生产和销售公司经过多年研发和积累,超净高纯试剂主要产品达到国际最高纯度等级,打破了国外技术垄断,制定了多项行业标准,被中国电子材料行业协会评为中国电子化学品十强企业,光刻胶产品规模化生产近 30 年,达到国际中高级水准,是国内最早规模量产光刻胶的少数几家企业之一

根据官方资料,晶瑞电材子公司苏州瑞红于 1993 年开始光刻胶生产,是国内最早规模量产光刻胶的少数几家企业之一,目前能够能够提供紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分 g 线,i 线正胶等高端产品,拥有达到国际先进水平的光刻胶生产线,实行符合现代微电子化学品要求的净化管理,配备了国内一流的光刻胶检测评价装置承担并完成了国家 02 重大专项i 线光刻胶产品开发及产业化项目,i 线光刻胶已向国内头部的知名大尺寸半导体厂商供货,KrF 光刻胶完成中试,产品分辨率达到了 0.25~0.13μm 的技术要求,建成了中试示范线公司于 2020 年下半年购买 ASML XT 1900 Gi 型光刻机设备,ArF 高端光刻胶研发工作正式启动,旨在研发满足 90—28nm 芯片制程的 ArF 光刻胶与半导体行业客户包括中芯国际,华虹宏力,上海积塔,长江存储,士兰微,合肥长鑫,扬杰科技等建立了长期合作伙伴关系

根据景瑞电材披露的计划,公司本次发行拟募集资金总额不超过77亿元,募集资金净额将用于杨恒化工超大规模集成电路年产9吨半导体级高纯硫酸技改项目,用于补充流动资金或偿还银行贷款,前者计划投资94亿元,后者投资8300万元。

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