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光氧催化是利用特制的高能UV紫外线光束照射具有光催化特性的催化剂,以裂解工业废气,如:氨 三甲胺、硫化氢 甲硫氢 甲硫醇、甲硫醚 乙酸丁酯,乙酸乙酯 二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯,硫化物HzS.VOC类、苯 甲苯 二甲苯等。

光解作用：有机或无机高分子化合物的分子链在高能紫外线光束照射下,直接降解转变成低分子化合物,如COz,H20等。另一方面,高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧 ，即活性氧,因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合,进而产生臭氧。臭氧能起到氧化作用,将有机物氧化为无机化合物。

光催化作用：在紫外灯的照射下 ,催化剂表面发生氧化还原反应,从而将有机物分解。当用能量等于或大于半导体带隙能的光波辐射半导体光催化剂时,处于价带上的电子(e-)就会被激发到导带上并在电场作用下迁移到粒子表面 ,于是在价带上形成了空穴(h+),从而产生了具有高活性的"电子-空穴" 对。空穴可以夺取半导体表面被吸附物质或溶剂中的电子,使原本不吸光的物质被激活并被氧化,电子受体通过接受表面的电子而被还原.例如TiOz属于一种n型半导体材料,T102的禁带宽度为3.2eV ,当它受到波长小于或等于387.5nm的光线照射时，价带中的电子就会被激发到导带上,形成带负电的高活性电e-,同时在价带上产生带正电的空穴h+(h+的氧化电位以标准氢电位计3.0V比起氯气的1.36V和臭氧的2.07V ,具氧化性要强得多)，形成“电子—空穴"对的氧化一还原体系。分布在表面的空穴h+可以将吸附本TiO2的0H-和H20分子氧化成羟基自由基,其标准电极电位为2.80V，羟基能氧化绝大部分的有机物及无机污染物,氧化为无机小分子、CO2和H20等无害物质。

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